Трихлорсилан
Трихлорсилан
| Трихлорсилан | |
|---|---|
 |
|
| Хим. формула | SiHCl3 |
| Молярная масса | 135.45 г/моль |
| Плотность | 1.342 г/см³ |
| Температура | |
| • плавления | −126.6 °C |
| • кипения | 31.8 °C |
| Рег. номер CAS | 10025-78-2 |
| PubChem | 24811 |
| Рег. номер EINECS | 233-042-5 |
| SMILES |
[H][Si](Cl)(Cl)Cl
|
| InChI |
1S/Cl3HSi/c1-4(2)3/h4H
ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N
|
| RTECS | VV5950000 |
| Номер ООН | 1295 |
| ChemSpider | 23196 |
| Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное. | |
Трихлорсилан (ТХС, силан трёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.
Содержание
Внешний вид и свойства
Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжёлые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.
Применение
Трихлорсилан является сырьём для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения плёнок монокристаллического кремния.
Производство
Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. Сейчас трихлорсилан производится только на четырёх российских предприятиях в гг. Усолье-Сибирское, в г. Новосибирск ООО "Альфагаз", г.Дзержинск ООО "Фирма "ХОРСТ" , Новочебоксарске и на Украине, в г. Запорожье.